紫外線照射裝置SUN ENERGY 紫外臭氧清洗儀

紫外線照射裝置SUN ENERGY 紫外臭氧清洗儀

SKM系列機器人將工件
從供料區運送到存儲區。

| 獨立式機器人運輸型 | 用于大規模生產 |
 

這是一款適用于大規模生產的獨立式機器人運輸設備，可根據您的需求進行定制。

根據您的需求定制

這套紫外線照射設備配備了機械臂清洗機器人。它可以自動對尺寸達 12 英寸的晶圓執行一系列操作，包括供料→運輸→紫外線處理→存儲。

追求舒適的操作體驗

配備用于晶圓轉移的理想機械臂清洗機器人，能夠以高速、
高精度。此外，我們還提供多種高精度轉移設備，可處理除晶圓以外的其他工件。
 
機械臂

支持最大 300 毫米（12 英寸）的晶圓

我們可以制造適用于最大尺寸為 300 毫米（12 英寸）的設備。
我們還可以根據玻璃基板等非晶圓材料的形狀和尺寸，為其推薦最佳的紫外線照射設備。
 
晶圓

采用紫外照度測量模式可實現穩定處理

紫外燈的輻照度會隨時間推移而降低。紫外輻照度測量模式會在處理前自動測量輻照度，并根據測得的輻照度值自動計算和設置所需的照射時間。這確保了在恒定的紫外照射量下進行穩定的處理。

燈光設計技術

我們運用光學設計技術計算紫外線照射量，優化紫外線燈的布置，并將紫外線均勻分布在有效照射區域，從而實現高效、精準的性能設計。我們
還可根據客戶需求，例如工件的加工溫度和所需的照明強度，提供優化的紫外線照射設備。
 

使用起來更安全

這是一款安全的紫外線照射裝置，不會向外泄漏臭氧或紫外線。它
標配聯鎖功能，當燈亮著時，如果門打開，燈會自動關閉。

臭氧排氣風機和軟管均為標準配置。

紫外線燈產生的臭氧可通過風機排出，同時紫外線燈也需要冷卻。排出的臭氧應排放到室外，或先用催化劑或其他方法分解后再排放。